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Valeur ajoutée |
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La réalisation des nombreuses études qui nous ont été confiées depuis 1995 a permis d'acquérir et de développer un savoir faire complet dans le domaine de la simulation optique de l'extrême UV à l'infrarouge lointain. Ces études s'accompagnent le plus souvent de l'utilisation et du développement de logiciels (macros) qui, pour certains d'entre eux, sont d'utilisation générale et peuvent s'appliquer à tous les cas. Ainsi développés au fil du temps, ils ont fini par constituer de véritables logiciels en soi, capables de compléter de manière spectaculaire les outils déjà disponibles dans CODE V® et LightTools®. L'analyse de la lumière parasite. Tolérancement.
Les publications correspondantes (et d'autres plus anciennes) sont disponibles sur la page téléchargements.
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| ©1995-2007 | |||
Dans toute étude optique, la question du tolérancement est récurrente et occupe souvent une bonne partie du temps disponible
pour une étude.
CODE V possède à ce sujet plusieurs routines de tolérancement, parfaitement adaptées
pour traiter tous les cas possibles.
Néanmoins, lorsque le système est complexe, nécessitant de simuler des réglages
en grand nombre avec plusieurs compensateurs et leurs labels associés, ce problème prend une dimension différente. Il n'est en effet pas inhabituel de gérer
alors plus de 500 tolérances, avec quatre ou cinq compensateurs différents pour simuler les réglages. La complexité devient telle qu'il est très utile de disposer d'outils pour récolter,
trier et présenter les résultats d'une manière simple et aussi synthétique que possible. C'est dans cette philosophie que nous avons développé les outils nécessaires pour y parvenir.
Développés en langage VBA avec EXCEL et EXCEL LINK, nous disposons de macros pour piloter CODE V
(routine TOR), récolter ses résultats puis les présenter sous forme de pages EXCEL dans lesquelles les tolérances
sont triées et organisées.
Elles sont également nommées en clair, c'est-à-dire que leur dénomination fait apparaître clairement les labels associés aux dioptres
et non leur numéro d'ordre.
La plupart du temps, cet outil fait apparaître que seulement quelques tolérances sont responsables
de 90 % de la dégradation. Il est alors bien plus rapide de les identifier et d'apporter les modifications nécessaires par essais successifs.
Cet outil permet également de tracer véritablement les courbes de F.T.M. avec prise en compte des tolérances,
de manière analogue à la présentation CODE V des F.T.M. théoriques.
Cet outil que nous avons appelé TOLTRI a été présenté à la conférence SPIE-EOS Optical Design and Engineering à Iéna en September 2005 (SPIE Proceeding N° 5962). Il a été complété en 2006 pour traiter aussi le tolérancement par la méthode
TOLFDIF de CODE V. La comparaison sur des pages EXCEL formattées de la même manièredes résultats
TOR et TOLFDIF
apporte un éclairage nouveau et spectaculaire.
Ce savoir faire a été présenté à l' International Conférence of Space Optics (Toulouse 2000) puis à la conférence
SPIE-EOS Optical Design Conference (St Etienne 2003 - SPIE Proceeding N° 5249).
Les images parasites sont dues
aux réflexions multiples entre les dioptres et entre dioptres
et plan focal (CCD). Diminuer le niveau de ces images nécessite de modifier les paramètres (cambrure, épaisseurs, etc...) ce qui est difficile car la disparition d'une image parasite engendre souvent la création d'une autre. Pour aider à traiter ce problème, nous avons développé un logiciel nommé PARASIT qui fonctionne dans l'environnement CODE V®. Ce logiciel est désormais utilisé dans de nombreuses applications, afin de corriger la création des images parasites lors de la conception du système optique, c'est-à-dire
son optimisation réalisée sous CODE V®, sans avoir à utiliser pour ce faire un autre logiciel tel que LightTools®,
forcément plus complexe et plus long à mettre en œuvre.
Sans avoir à modifier le fichier CODE V® sur lequel on travaille, PARASIT permet de quantifier en quelques minutes le taux d'image parasite associé au système optique en présence de certains types de sources dans le champ. On peut
ainsi très rapidement agir sur
les paramètres d'optimisation et parvenir au meilleur compromis par allers et retours successifs entre optimisation et PARASIT.
Dans son mode d'utilisation plus complexe, il permet une analyse photométrique qui tientcompte des définitions
exactes des traitements anti-reflet des dioptres et de l'état de polarisation de la lumière.
Ses applications sont multiples, mais plus particulièrement :
- Dans la bande 3-5 microns, il est désormais systématiquement utilisé lors de l'optimisation des systèmes, car les contrastes dans cette bande sont élevés, et les images parasites doivent être éliminées avec des taux de réjection élevés.
- En photolithographie, il est utilisé pour prédire les niveaux parasites sur l'ensemble du wafer, point particulièrement important pour les machines du type "Steppers".
De même, PARASIT a été utilisé avec succès pour expertiser la lumière parasite dans des systèmes comportant des composants diffractifs, afin de quantifier les images parasites dues aux différents ordres de diffraction. Dans la même philosophie, des outils ont été développés pour aider et systématiser les calculs de lumière parasite en toute généralité, c'est-à-dire incluant l'ensemble optique et mécanique. Pour ce faire, LightTools est utilisé en mode client serveur avec Matlab, et une méthodologie (et la macro Matlab correspondante) ont été développés de manière à rendre cette étude plus facile et plus systématique.
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| Tolérancement Présentation Power Point Cliquer ici |
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| Lumière parasite Présentation Power Point (Cliquer ici) |
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